旋片式真空泵的旋片与端盖端面间隙是保证真空度的极重要因素之一：油箱内的油通过低端盖油孔通往泵腔端面和端盖侧面的油量调节针阀，另一端有油孔通轴封。滑阀泵等咋端盖板上有油孔连通轴孔和邮箱并通到油阀调节螺针处。这些，即使对于同一型号的泵，随着对油路结构设计的不同，厂家也不相同，拆下泵时首先应自吸查清油路。当油路中进油量调节得不适当时，就会影响真空度的升降。

如果真空泵各部件装配间隙是适合的，给油量过大就会使真空度下降，如果泵的轴和套间隙稍大一点，加大油路的进油量，真空度就能上去一些。
当双级泵的第一级间隙稍大一点，可将端盖轴头的油量适当加大，真空度也会上升。若有些泵没有调节油路的油阀，又因装配间隙略大而密封不好。可利用双级排气阀之间阀片微量抬起的办法使其进油量增大一些，这样在旋片与泵腔接触处会形成密封油膜，再加上不断排油，就可以把一些气体排出去，从而得到较高的真空度。当然，一般以减小其配合间隙来增加其密封性，用抬高阀片的方法搞不好时，易得反效果。另外，如果各部分间隙配合均合适，盲目增大油路的进油量，也会使其真空度明显下降。
总而言之，如果油路给油量过小，轴孔等处得不到足够的油来保持润滑并形成密封油膜，就可能会造成切点间隙无密封油膜而使气体反“突破”，真空度自然就下降了；如果此时配合精度合适，调节油路便可以使真空度得到改善，如果零部件的精度和光洁度达不到要求，不光造成密封不好，还会造成很多问题。实践证明，零件的几何精度是直接影响真空泵性能的主要因素。
例如，轴与套的配合精度比较差，公差过小，则会互相研磨坏；过大，则油膜承受反“突破”压力的能力将降低易于造成两级“串气”，同时会使转子下沉，增大吸排气间之上切点间隙，也使油膜易受破坏，造成反“突破”而串气，总的效果均是使真空度下降。所以轴，套配合精度一定要高。

真空泵的转子与泵腔的型线均为“余摆线”。目前真空泵行业中广泛使用的油封式机械真空泵大多是中、小型的旋片泵和中、大型的滑阀泵。旋片泵在较脏的工作条件下，旋片中转子槽中卡住。尽管滑泵对着一缺点有一定程度的客服，但由于滑阀的质心相对回转中心的距离不是定值，虽然在结构上采取了一些动平衡措施，但尚不能达到完全平衡，故振动难以完全消除。尤其泵的容量越大，振动亦更大。同时上述两种泵，特别是滑阀泵与其排气量相比外形尺寸显得较大。这些缺点迫使人们去研究新型结构的真空泵。